3
3
3
5
5
5
7
11
13
19
31
37
41
61
73
101
109
151
181
251
331
601
631
1201
1321
1801
4051
8101
23311
54001
63901
100801
115201
268501
617401
695701
10567201
13334701
18837001
29247661
1182468601
1348206751
4714696801
1133836730401
307116398490301
413150254353901
6269989892198401
13861369826299351
3192261504216112476901
281941472953710177758647201
